助成実績

  • No.30-A13
    2018年度

    最先端ロジック半導体に向けた極薄ニッケルバリアメタル・配線の構造最適化と電気特性評価

    対象者
    斎藤 丈靖(大阪府大大学院・工学研究科・准教授)
    金額
    -
ページの先頭へ