トップページ助成プログラム助成実績 調査・研究への助成 最先端ロジック半導体に向けた極薄ニッケルバリアメタル・配線の構造最適化と電気特性評価 No.30-A13 2018年度 最先端ロジック半導体に向けた極薄ニッケルバリアメタル・配線の構造最適化と電気特性評価 対象者 斎藤 丈靖(大阪府大大学院・工学研究科・准教授) 金額 -