トップページ助成プログラム助成実績 調査・研究への助成 低温形成Si系誘電体薄膜を用いた近赤外光導波路デバイス No.A25-20 2025年度 低温形成Si系誘電体薄膜を用いた近赤外光導波路デバイス 対象者 石川 靖彦(豊橋技術科学大学大学院・工学研究科・教授) 金額