助成実績

  • No.A25-20
    2025年度

    低温形成Si系誘電体薄膜を用いた近赤外光導波路デバイス

    対象者
    石川 靖彦(豊橋技術科学大学大学院・工学研究科・教授)
    金額
ページの先頭へ