トップページ助成プログラム助成実績 調査・研究への助成 低温形成Si系誘電体薄膜を用いた近赤外光電波路デバイス No.A24-8 2024年度 低温形成Si系誘電体薄膜を用いた近赤外光電波路デバイス 対象者 石川 靖彦(豊橋技術科学大学 大学院工学研究科 電気・電子情報工学系 教授) 金額 -